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中央真空系統(tǒng)簡介及特點

日期:2024-09-20 04:11
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摘要:
中央真空系統(tǒng)簡介及特點
      中央真空系統(tǒng)是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)。目前,該系統(tǒng)應用于電子半導體業(yè)、光電背光模組、機械加工等行業(yè)。
      該中央真空系統(tǒng)出廠時已經包括了抽速控制、進氣過濾、主要運行數據顯示、運行保護及遠程控制接口等。只需要在現場進行簡單的連接電源和管道,即可以組成一個完整的真空系統(tǒng)。該真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由的PLC控制系統(tǒng)經過編程后組成,以觸摸屏為人機界面,實現對真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設定和執(zhí)行、報警保護系統(tǒng)等的全自動化控制。
特點
      中央真空系統(tǒng)自啟動后,運行過程可以實現全自動控制。在工作中,真空系統(tǒng)內各處的真空度(即真空稀薄程度平均分布)始終在其允許范圍內上下波動,其波動范圍可根據用戶要求進行調整。使用螺桿真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵及水環(huán)真空泵真空系統(tǒng)能達到佳流程工藝。


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