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萊寶真空泵半導(dǎo)體及原理介紹
日期：2024-09-20 04:20
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摘要：
萊寶真空泵SOGEVAC系列是單極油封式旋片泵。泵本身帶有防返油閥、氣鎮(zhèn)閥（選配）、過(guò)濾器、回油線(xiàn)路和和油冷卻回路。泵由直聯(lián)法蘭電機(jī)驅(qū)動(dòng)。
安裝在泵體中的偏心轉(zhuǎn)子）有三塊葉片，它們把泵分成三個(gè)隔室，每個(gè)隔室的容積隨轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)周期性的變化。
當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，抽空腔的進(jìn)氣部分容積擴(kuò)大，將氣體從進(jìn)氣口吸入，氣體經(jīng)過(guò)空氣濾芯，打開(kāi)的防返油閥進(jìn)入腔泵。當(dāng)轉(zhuǎn)子進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)，葉片從吸入口將泵腔部分分開(kāi)。這部分泵腔容積減少，氣體被壓縮。氣體在略高于大氣壓時(shí)經(jīng)過(guò)排氣閥從泵腔排出。
油在注入泵腔起密封、潤(rùn)滑和泵冷卻的作用。壓縮氣體夾帶的油在油箱內(nèi)由于折轉(zhuǎn)而被初步捕集。而后在油霧分離器中被徹底過(guò)濾。于是，排氣中油含量下降至低于可見(jiàn)程度。
注：SOGEVAC系列泵不能抽空侵蝕性、腐蝕性、易燃或易爆氣體。
半導(dǎo)體行業(yè)正持續(xù)迅速的發(fā)展著，為能滿(mǎn)足客戶(hù)對(duì)產(chǎn)品和工藝快速不斷變化的需求，我們與客戶(hù)之間的溝通從未象今天這樣如此重要。
真空設(shè)備在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中著極為重要的作用，針對(duì)的生產(chǎn)要求必須選擇適合的真空設(shè)備。
過(guò)去的幾年里，為滿(mǎn)足半導(dǎo)體行業(yè)需求，我們縮短產(chǎn)品周期，更加迅速的推出新的產(chǎn)品，大大提高了我們的服務(wù)質(zhì)量。
