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由哪幾部分組成中央真空系統(tǒng)？
日期：2024-09-19 09:48
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摘要：
中央真空系統(tǒng)是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲(chǔ)氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)。目前，該系統(tǒng)應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機(jī)械加工等行業(yè)。
真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過編程后組成,以觸摸屏為人機(jī)界面,實(shí)現(xiàn)對(duì)真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設(shè)定和執(zhí)行、報(bào)警保護(hù)系統(tǒng)等的全自動(dòng)化控制。
工作流程：啟動(dòng)系統(tǒng)，主真空泵組開始工作，直到真空罐內(nèi)真空度達(dá)到設(shè)定的上限值，真空泵自動(dòng)停止運(yùn)行，中央真空系統(tǒng)內(nèi)的真空由管路上的真空止回閥自動(dòng)截止而得到維持。如因工作需求真空罐內(nèi)真空度下降并低于設(shè)定的下限值時(shí)，備用真空泵組自動(dòng)啟動(dòng)。由此循環(huán)往復(fù)，真空系統(tǒng)的真空度能夠維持穩(wěn)定的真空源，滿足生產(chǎn)的要求。
真空系統(tǒng)自啟動(dòng)后，運(yùn)行過程可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制。在工作中，真空系統(tǒng)內(nèi)各處的真空度(即真空稀薄程度平均分布)始終在其允許范圍內(nèi)上下波動(dòng)，其波動(dòng)范圍可根據(jù)用戶要求進(jìn)行調(diào)整。
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