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羅茨真空泵的及其工作原理

日期:2024-09-19 11:16
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摘要:
羅茨真空泵(簡稱羅茨泵)是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡?。它是由羅茨鼓風(fēng)機(jī)演變而來的。根據(jù)羅茨真空泵工作范圍的不同,又分為直排大氣的低真空羅茨泵;中真空羅茨泵(又稱機(jī)械增壓泵)和高真空多級羅茨泵。
  羅茨真空泵的大
  在較低入口壓力時具有較高的抽氣速率,但它不能單獨(dú)使用,必須有一臺前級真空泵串聯(lián)。待被抽系統(tǒng)中的壓力被前級真空泵抽到羅茨真空泵允許入口壓力時,羅茨真空泵才能開始工作。并且在一般情況下,羅茨真空泵不允許高壓差時工作,否則將會過載和過熱而損壞,因此使用羅茨真空泵時必須合理地選用前級真空泵,安裝必要的保護(hù)設(shè)備。
  羅茨泵的工作原理
  羅茨真空泵泵腔內(nèi),有二個“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。在轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,保持有一家的間隙,可以實現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。由于羅茨泵串聯(lián)使用。
  羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間內(nèi),再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后的VO空間是全封閉狀態(tài),所以,在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。
  但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣,VO空間與排氣側(cè)相通時,由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高,則有一部分氣體返沖到空間VO中去,使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時,氣體排出泵外。
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