真空系統(tǒng)的組成概述

真空應(yīng)用設(shè)備種類繁多，但無論何種真空應(yīng)用設(shè)備都有一套排除被抽容器內(nèi)氣體的抽氣系統(tǒng)，以便在真空容器內(nèi)獲得所需要的真空條件。舉例來說：一個真空處理用的容器，用管道和閥門將它與真空泵連接起來，當(dāng)真空泵對容器進行抽空時，容器上要有真空測量裝置，這就構(gòu)成了一個簡單的真空抽氣系統(tǒng)。

簡單的真空系統(tǒng)只能在被抽容器內(nèi)獲得低真空范圍內(nèi)的真空度，當(dāng)需要獲得高真空范圍內(nèi)的真空度時，通常在真空系統(tǒng)中串聯(lián)一個高真空泵。當(dāng)串聯(lián)一個高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和分別加上閥門，以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串聯(lián)的高真空泵是一個油擴散泵，為了防止大量的油蒸氣返流進入被抽容器，通常在油擴散泵的入口加一個捕集器——水冷障板(如圖2所示)。根據(jù)要求，還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規(guī)頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥等等，這樣就構(gòu)成了一個較完善的高真空系統(tǒng)。

凡是由兩個以上真空泵串聯(lián)組成的真空系統(tǒng)，通常都把抽低真空的泵叫做它上高真空泵的前級泵(或稱前置泵)，而高的真空泵叫做該真空系統(tǒng)的主泵，即它是主要的泵，被抽容器中的極限真空度和工作真空度就由主泵確定。被抽容器到主泵入口之間的管路稱為高真空管路，主泵入口處的閥門稱為主閥。

通常前級泵又兼作予真空抽氣泵。被抽容器到予抽泵之間的管路稱為予真空管路，該管路上的閥門稱為予真空管道閥。主泵到前級泵入口之間的管路稱為前級管道，該管路上的閥門稱為前級管道閥，而軟連接管道是為了隔離前級泵的振動而設(shè)置的。

總起來說，一個較完善的真空系統(tǒng)由下列元件組成：

1．抽氣設(shè)備：例如真空泵；

2．真空閥門；

3．連接管道；

4．真空測量裝置：例如真空壓力表、規(guī)管；

5．其它元件：例如捕集器、除塵器、真空繼電器規(guī)頭、儲氣罐等。

那么，究竟什么是真空系統(tǒng)?用一句話來概括，就是：用來獲得有特定要求的真空度的抽氣系統(tǒng)。

真空系統(tǒng)設(shè)計的基本內(nèi)容：是根據(jù)被抽容器對真空度的要求，選擇適當(dāng)?shù)恼婵障到y(tǒng)設(shè)計方案，進行選、配泵計算；確定導(dǎo)管、閥門、捕集器、真空測量元件等，進行合理配置，后劃出真空系統(tǒng)裝配圖和零部件圖。