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真空鍍膜的發(fā)展趨勢

日期:2024-09-19 12:34
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摘要:
     真空泵維修 ,蒸發(fā),濺射鍍膜和離子鍍等通常稱為物**相沉積法,是基本的薄膜制備。它們都要求淀積薄膜的空間要有一定的真空度。所以,真空是薄膜制作的基礎(chǔ),獲得并保持所需的真空環(huán)境,是鍍膜的必要條件。
真空系統(tǒng)的種類繁多。在實(shí)際工作中,必須根據(jù)自己的工作重點(diǎn)進(jìn)行選擇。典型的真空系統(tǒng)包括:獲得真空的設(shè)備(真空泵),待抽空的容器(真空室),測量真空的器具(真空計(jì))以及必要的管道,閥門和其它附屬設(shè)備。
     科技發(fā)展愈來愈快,信息高速公路,數(shù)字地球等新概念的提出,影響和帶動(dòng)了全球的發(fā)展,目前,生命科學(xué),環(huán)??萍迹牧峡茖W(xué)和納米科技使重點(diǎn)研究的;納米科技中又以納米電子學(xué)為優(yōu)先研究。
     目前計(jì)算機(jī)和信息的基礎(chǔ)使大規(guī)模繼承電路;但下個(gè)世紀(jì)的基本元件將是納米電子集成電路。它是微電子器件的下一代,有自己的理論,和材料?,F(xiàn)有微電子器件的主要材料是極純的硅,鍺等晶體半導(dǎo)體。納米電子器件有可能是以有機(jī)或無機(jī)復(fù)合晶體薄膜為主要原理,要求純度更高,結(jié)構(gòu)更完善。真空制備的清潔環(huán)境,有希望加工組裝出納米電子器件所要求的結(jié)構(gòu)。
     總之,表面和薄膜科學(xué),微電子器件及納米等迅速發(fā)展,將使一起和檢測方法體系研究成為真空鍍膜中的發(fā)展重點(diǎn);而電子束蒸發(fā)源將是真空鍍膜中的一種重要的加熱方法和發(fā)展方向。

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