Edwards發(fā)布用于顯示器和太陽(yáng)能的真空鎖室泵系列

全球的真空設(shè)備和尾氣處理系統(tǒng)制造商及相應(yīng)增值服務(wù)供應(yīng)商Edwards公司宣布推出全新iXL250Q和iXL750Q干泵。新推出的干泵設(shè)備，加上已有的iXL500Q干泵，涵蓋了平板顯示器(flat panel display，F(xiàn)PD)和太陽(yáng)能制造市場(chǎng)中的全系列抽空要求，包括從較小的第四代FPD制造中的真空鎖室泵直到第八代或第十代FPD制造中的大型真空鎖室泵。在2012年7月10-12日于加利福尼亞州舊金山舉辦的InterSolar博覽會(huì)，Edwards公司將在北廳(North Hall)的 5351號(hào)展臺(tái)展出該設(shè)備，敬請(qǐng)參觀以了解有關(guān)iXL系列的更多信息。

這些性能的真空泵設(shè)計(jì)用于使基底產(chǎn)出率大化，同時(shí)使功率、占位面積和重量降到低。另外，在檢修間隔期間無(wú)需維護(hù)。的真空泵均具備“綠色”工作模式，能夠在待機(jī)期間以更低的功率運(yùn)行，從而有很大的潛力來(lái)降低運(yùn)營(yíng)成本。

Edwards公司FPD干泵產(chǎn)品經(jīng)理Allister Watson博士稱(chēng)：“把總體成本降至低是Edwards與客戶共同的優(yōu)先考慮事項(xiàng)。我們注重引導(dǎo)客戶根據(jù)其要求來(lái)選擇高效的設(shè)備。iXL干泵進(jìn)一步擴(kuò)展了我們的產(chǎn)品組合，因而我們能夠?yàn)榭蛻籼峁┬时M可能高的方法，以低的成本實(shí)現(xiàn)化的性能。”

特定體積工藝室的抽空時(shí)間主要取決于泵在接近大氣壓力時(shí)的可用抽速。正如產(chǎn)品名稱(chēng)所提示，iXL250Q、iXL500Q和iXL750Q在大氣壓力附近提供大約250 m3/h、500 m3/h和750 m3/h的抽速。iXL250Q目標(biāo)是較小的工藝室，它們用于較早一代FPD(例如第四代)制造，而iXL500Q和iXL750Q則更適合較大的工藝室，可在第八代和第十代FPD制造中使用。