產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:愛德華 XDS35i 渦旋式真空泵 干式渦旋泵 渦卷泵 干式真空泵 Edwards真空泵

  • 產(chǎn)品型號:XDS35i
  • 產(chǎn)品廠商:Edwards
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簡單介紹:
在需要無油泵時,滾軸泵可出色地替代旋片泵。XDS 泵的抽速為 5、10 和 35 m3/hr,是采用了新的軸承護罩,將真空環(huán)境與潤滑劑隔離開,使之不僅 干燥, 而且保護軸承免受任何制程氣體的影響。蒸汽處理通過可調(diào)氣囊實現(xiàn);這使該系列的泵能夠應用于以前許多不能采用其他滾軸泵的應用場合。 愛德華 XDS35i 渦旋式真空泵 干式渦旋泵 渦卷泵 干式真空泵 Edwards真空泵
詳情介紹:

概述

XDS35i 泵具有新的軸承護罩設計,可將真空環(huán)境與形式的潤滑劑隔離開來,使之不僅干燥,而且密封。該屏蔽還能保護軸承免受任何制程蒸汽的影響。
氣囊允許處理蒸汽,將應用范圍拓展到以前許多不適用滾軸泵的情況。變頻器驅(qū)動裝置控制著電機特性,可泵總是以轉(zhuǎn)速運轉(zhuǎn)。

應用

分析儀器
電子掃描顯微鏡 - SEM
射束線和高能物理
渦輪分子前級泵
速離心機
覆層
低溫學
脫氣/硫化 - 油,環(huán)氧樹脂
蒸餾/萃取/過濾
冷凍干燥
熔爐
凝膠體干燥
實驗室工作臺上真空
激光、氣體回收和再循環(huán)
氦檢漏儀
負載鎖和傳輸腔
稀有氣體再循環(huán)
稀有氣體回收
冷凍制造

旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器
SEM/FIB(離子束維修)
溶劑回收
表面科學儀器


特點及優(yōu)勢

真空外殼中不需要使用潤滑劑,密封可徹底的清潔和干燥真空,防止交叉污染
無大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能以更低溫度運行,使用時間更長
無需更換潤滑油,也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費用
簡單的單側滾軸設計意味著維護工作可在數(shù)分鐘內(nèi)完成,降低運行成本,盡可能延長正常運行時間
變換器驅(qū)動可使抽速穩(wěn)定維持在 50/60Hz


參數(shù)

排量(50 Hz 或 60 Hz

43 m3h-1/25 ft3min-1

峰值抽速(50 Hz 或 60 Hz

35 m3h-1/21 ft3min-1

極限真空(總壓力)

1 x 10-2 mbar/8 x 10-3 Torr

水蒸汽的大進氣口壓力

35 mbar/23 Torr

大水蒸汽抽速 – GB I

70 gh-1

大水蒸汽抽速 – GB II

240 gh-1

允許的大壓力

0.2 bar 表壓 / 2.9 psig

允許的大進氣口和 GB 壓力

0.5 bar 表壓/7 psig

電機功率

0.52 kW

電源連接器

IEC EN60320 C19

標稱轉(zhuǎn)速

1750 rpm

重量

48 kg/105 lb

進氣口法蘭

NW40

排氣口法蘭

NW25

噪音級別

57 dB(A)

振動

<4.5mms -1 (rms)

密封性(靜態(tài))

<1 x 10-6 mbar ls-1

工作溫度范圍

10 至 40 °C/50 至 104 °F

 

 
愛德華 XDS35i 渦旋式真空泵 干式渦旋泵 渦卷泵  干式真空泵 Edwards真空泵

滬公網(wǎng)安備 31011702004252號