概述
XDS46i 泵是在 XDS35i 基礎(chǔ)上的產(chǎn)品，因此兩者具備相同的功能和優(yōu)勢(shì)，但前者的峰值泵速可達(dá) 40m3/hr。當(dāng)入口壓力在 1 mbar 到 10 mbar 之間時(shí)，XDS46i 針對(duì)大抽速進(jìn)行了優(yōu)化，因此適合需要比 XDS35i 的抽速更高抽速的 LCMS 和 ICPMS 應(yīng)用。端部密封的新改進(jìn)減少了端部密封的磨損，從而延長(zhǎng)了維修干預(yù)之間的時(shí)間間隔。變換器驅(qū)動(dòng)控制著電機(jī)的特性，泵總是以?xún)?yōu)化速度運(yùn)行，并使用戶(hù)可以對(duì)泵進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。
應(yīng)用
分析儀器
電子掃描顯微鏡 - SEM
射束線(xiàn)和高能物理
渦輪分子前級(jí)泵
速離心機(jī)
覆層
低溫學(xué)
脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹(shù)脂
蒸餾/萃取/過(guò)濾
冷凍干燥
熔爐
凝膠體干燥
實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)上真空
激光、氣體回收和再循環(huán)
氦檢漏儀
負(fù)載鎖和傳輸腔
稀有氣體再循環(huán)
稀有氣體回收
冷凍制造
旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器
SEM/FIB（離子束維修）
溶劑回收
表面科學(xué)儀器
LCMS 入口
ICPMS 入口
覆層
特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)
真空外殼中不需要使用潤(rùn)滑劑，密封可徹底的清潔和干燥真空，防止交叉污染
無(wú)大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運(yùn)行，使用時(shí)間更長(zhǎng)
無(wú)需更換潤(rùn)滑油，也就消除了處置被污染的潤(rùn)滑油所需的費(fèi)用
簡(jiǎn)單的單側(cè)滾軸設(shè)計(jì)意味著維護(hù)工作可在數(shù)分鐘內(nèi)完成，降低運(yùn)行成本，盡可能延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間
變換器驅(qū)動(dòng)可使抽速穩(wěn)定維持在 50/60Hz
排量（50 Hz 或 60 Hz）
60 m3h-1/35 ft3min-1
峰值抽速（50 Hz 或 60 Hz）
40 m3h-1/23.5 ft3min-1
極限真空（總壓力）
5 x 10-2 mbar/4 x 10-2 Torr
大連續(xù)進(jìn)氣口壓力
40 mbar/30 Torr
大連續(xù)壓力
0.2 bar 表壓 / 2.9 psig
允許的大進(jìn)氣口和 GB 壓力
0.5 bar 表壓/7 psig
電機(jī)功率
0.52 kW
電源連接器
IEC EN60320 C19
標(biāo)稱(chēng)轉(zhuǎn)速
1750 rpm
重量
48 kg/105 lb
入口法蘭
NW40
排氣口法蘭
NW25
噪音級(jí)別
55.4 dB(A)
振動(dòng)
<4.5mms -1 (rms)
密封性（靜態(tài)）
<1 x 10-6 mbar ls-1
工作溫度范圍
10 至 40 °C/50 至 104 °F
